申请号/专利号: 200310114261 本发明提供一种铜导线的无电镀方法。此铜导线的无电镀方法包含下列步骤:首先,提供一基材,此基材具有导电区域与非导电区域,其中导电区域由铜导线构成;接着,在导电区域的表面覆盖金属薄膜;然后,清洁基材的表面。并更进一步的将金属薄膜进行热处理,使金属薄膜与导电区域的金属材质形成合金层,例如是镍铜合金层。
申请日: | 2003年11月06日 |
公开日: | 2004年12月01日 |
授权公告日: | 2007年06月13日 |
申请人/专利权人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
申请人地址: | 中国台湾 |
发明设计人: | 万文恺;林义雄;雷明达;彭宝庆;林正忠;林佳惠;刘埃森 |
专利代理机构: | 隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人: | 郑特强 |
专利类型: | 发明专利 |
分类号: | H01L21/288;H01L21/445 |
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