申请号/专利号: 200580014778 提供一种黄铜矿型薄膜太阳能电池的制造方法,其电极层和由黄铜矿类化合物组成的光吸收层之间的密着性良好,即使形成碱层的碱金属含有液的浓度较高,此积层结构也稳定,且外观上不会出现问题。本发明的方法,由如下工序组成:第一工序,其是在Mo电极层(2)上形成通过溅射法而层叠了In金属层和Cu-Ga合金层的前驱物质;向前驱物质附着碱金属含有液的第二工序、对经过第一及第二两个工序后的衬底(1)进行硒化处理的硒化工序;成膜光透过性的导电层的透明电极形成工序。作为碱金属含有液,可以使用四硼酸钠、硫化钠、硫酸钠铝等碱金属化合物的水溶液。
申请日: | 2005年04月12日 |
公开日: | 2007年04月18日 |
授权公告日: | |
申请人/专利权人: | 本田技研工业株式会社 |
申请人地址: | 日本东京都 |
发明设计人: | 青木诚志 |
专利代理机构: | 中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人: | 李贵亮 |
专利类型: | 发明专利 |
分类号: | H01L31/04 |
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