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多晶铜膜纳米压入蠕变性能

发布日期：2010-06-11 作者：王飞,徐可为

　　在JGP560V磁控溅射镀膜设备上镀制多晶铜膜，利用纳米压入技术测量了其室温下的蠕变性能。结果表明：由于不同加载方式下，材料加工硬化程度的不同造成了应力指数的差异，因而，不同加载方式对测得的铜膜蠕变应...

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关键词： 铜之家纳米压入, 铜之家蠕变,残余应力,应力指数

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